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Small-scale plasticity in thin Cu and Al films · UY1 Research Hub

Publications scientifiques

2003Article de revueanglais

Small-scale plasticity in thin Cu and Al films (ouvre dans un nouvel onglet)

Auteurs

Max Planck Society

Gerhard Dehm (Auteur correspondant)
T. John Balk
Hervais Edongué
Eduard Arzt

Microelectronic Engineering

Mots-clés

metal and thin film mechanics
copper interconnects and reliability
semiconductor materials and devices
materials science
thin film
crystallite
plasticity
epitaxy
composite material
microstructure
substrate (aquarium)
stress (linguistics)
dislocation
transmission electron microscopy
flow stress
metallurgy
nanotechnology
layer (electronics)
geology

Détails de la publication

Année: 2003
Type: Article de revue
Langue: anglais
DOI: 10.1016/s0167-9317(03)00395-2 (ouvre dans un nouvel onglet)

Accès et ressources

[DOI]doi.org (ouvre dans un nouvel onglet)